多晶硅生产中的分析检测

分析检测属于改良西门子法生产中的一个辅助部门，但也是不可或缺的。他被誉为是化工企业的“眼睛”，你只有明确了原料、中间品的质量好坏，才能生产出来合格的产品。
    在改良西门子生产多晶硅工艺中，需要检测的物质有各种氯硅烷的纯度和杂质含量、氢气的纯度、硅粉的金属杂质含量等，所使用的分析仪器有气相色谱、质谱、ICP、红外灯。
    发一个多晶硅生产中分析检测的文档，做这个的可以下载了解一下！

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