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多晶硅/PCS技术交流
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硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟
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硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟
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甘棠
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TA的每日心情
无聊
2023-2-1 11:52
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[LV.1]初来乍到
甘棠
发表于 2013-2-19 06:40:00
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本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递,并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型,选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件 Fluent 6. 3. 26 进行数值模拟。之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响,得到结论: 当进气组成、反应温度和反应压力增大时,硅的沉积速率增大、单位能耗降低; 当进气速度增大时,硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势; 在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大,在离进口较远的区域,硅沉积速率随着硅棒延伸而减小。
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匿名
发表于 2013-2-19 15:50:00
谢谢分享
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匿名
发表于 2013-2-19 18:13:00
谢谢楼主,不知道新方法推广的怎么样,我们公司快投产了
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匿名
发表于 2013-2-19 19:05:00
投产了好 投产就有希望
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xinmeng1504933
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xinmeng1504933
发表于 2015-3-23 16:42:38
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不错,学习分享硅烷新技术原理
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海阔天空1
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海阔天空1
发表于 2015-5-6 18:40:07
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怎么看不到下载链接啊
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山涧过客
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TA的每日心情
奋斗
2022-8-22 20:58
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[LV.2]偶尔看看I
山涧过客
发表于 2021-2-21 21:40:59
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冬天来了,春天还会远吗
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山涧过客
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TA的每日心情
奋斗
2022-8-22 20:58
签到天数: 5 天
[LV.2]偶尔看看I
山涧过客
发表于 2021-2-21 21:46:04
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好东西,**了
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jake_kang
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TA的每日心情
慵懒
2022-12-19 11:59
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[LV.1]初来乍到
jake_kang
发表于 2022-12-19 12:05:12
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需要回复才能看到附件嘛?
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jake_kang
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TA的每日心情
慵懒
2022-12-19 11:59
签到天数: 1 天
[LV.1]初来乍到
jake_kang
发表于 2022-12-19 12:05:36
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看不到任何**连接啊
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