电子级多晶硅装置工艺流程的主要工序组成

不准重名 · 发表于 2008-8-23 13:24:47

(1)       三氯氢硅合成工序
(2)       合成气干法分离工序
(3)       氯硅烷分离提纯工序
(4)       三氯氢硅氢还原工序
(5)       还原尾气干法分离工序
(6)       四氯化硅氢化工序
(7)       氢化气干法分离工序
(8)       氯硅烷贮存工序
(9)       硅芯制备工序
(10)       产品整理工序
(11)       废气和残液处理工序
(12)       工艺废料处理工序

carpediem1984 · 发表于 2008-8-23 14:22:27

学习了...,有没有具体点的介绍?

不准重名 · 发表于 2008-8-23 14:24:18

这是从网上找来的，没有别的东西。

28926828 · 发表于 2008-11-22 21:17:00

汗如果有全部资料该多好啊麻烦高手传下撒

电子级多晶硅装置工艺流程的主要工序组成

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