目前国内外多晶硅生产现状

1，国外多晶硅生产现状[1]
目前国外多晶硅生产在质量上已能满足大规模集成电路用直拉单晶硅和电力电子器件用的区熔单晶硅的要求，并不断以新工艺技术、向更大规模化、更低生产成本方向发展。见表1。几大公司垄断了多晶硅生产技术，保持各自的份额，同时满足了不断发展的各种半导体硅芯片的需要。

表1 国外多晶硅公司生产现状
公司               国别                   原料工艺反应器                                 产品形状     产品定位       2004年产量     2005年产量预期
Hemlock             美国        HCL+工业硅西门子工艺与反应器                                    棒状              电子级                    7000                       7800
TokuYama         日本        H2+CL2+工业硅西门子工艺与反应器                              棒状              电子级                    4800                       4800
WacKer              德国        H2+CL2+工业硅西门子工艺与反应器                             棒状              电子级                    4600                       5000
Asimi                  美国        SiH4, SiH4 热分解工艺西门子反应器                              棒状              电子级                    2400                       2400
SGS                   美国        SiH4, SiH4 热分解工艺西门子反应器                              棒状               电子级                   2200                       2200
三菱                   日本        H2+CL2+工业硅西门子工艺与反应器                              棒状               电子级                   1600                       1600
三菱                   日本        H2+CL2+工业硅西门子工艺与反应器                              棒状               电子级                   1200                       1200
Memc               意大利      SiHCL3西门子工艺与反应器                                            棒状               电子级                   1000                       1000
Sumi tomo         日本        H2+CL2+工业硅西门子工艺与反应器                             棒状               电子级                     700                         700
Memc                美国         Na Al H2 H2SiF6流化床反应器                                        粒状               太阳能                   1500                        1500
合 计                                                                                                                                                                                     27000                      28200

2，国内多晶硅生产现状
目前国内多晶硅生产在工艺技术和规模上与国外有较大的差距，原料消耗高、能耗高、规模小、产量低、装备差、成本高、质量不稳定、市场竞争力弱。因此多晶硅生产厂家由上世纪80年代的14家到90年代减为两家（峨嵋半导体材料厂和洛阳单晶硅有限公司）。目前洛阳中硅公司300吨/年已建成投产，在建的还有新光硅业1260吨/年。国内多晶硅生产现状列于表2。从表2中可以看出，国内多晶硅产量小，远不能满足我国单晶硅生产的需求，特别是不能满足太阳能光伏产业迅猛发展的需求。
表2 国内多晶硅生产现状
生产厂(公司)           生产能力（吨/年）           工 艺                              产品定位                           备 注
新光硅业                        1260                    改良西门子法                         电子级                    计划2007年初投产
中硅公司                          300                    改良西门子法                         电子级                    2005年9月试车
峨嵋半导体材料厂           100                     改良西门子法                         电子级                   2006年扩至200吨/年
合计                               1660                                                                                             2005年实际产量不到150吨

[ 本帖最后由 不准重名 于 2008-8-5 22:34 编辑 ]

重名版主 建议你把帖子重新编辑一下 这样看起来太麻烦了 还容易出错误。。

恩，看起来不方便

这样看起来太麻烦了

谢谢！是我没注意，光把帖子放上去就完了。现已改正:loveliness:

你应该把字体修改一下再贴上来。。这样效果太差了吧 重名版主你自己看一下 这个帖子怎么看？？:L

建议搞成word版本再传上来，会好些。

看起来太麻烦了

建议不用表格