再论«多晶硅生产新工艺、新设备的开发»

好像上次楼主说要回复才能看，所以没看

如果这个方法生产乙硅烷，成本是多少？生产半导体多晶硅用硅烷工艺即可，为什么要采用乙硅烷呢？浙江精功都有成熟的歧化发制备硅烷工艺，和硅烷制备电子级多晶硅技术。国外研究这么多年，为什么不采用乙硅烷法呢？

由于作者本人发稿时没有严格查阅，造成乙硅烷的分子式由Si2H6，误写为Si2cL6,今特在网上修改，并道歉。
希望转载本文的单位应及时修正，以免造成更大的影响，而曲解本文的真正含义。


现对«多晶硅生产新工艺、新设备的开发»如下更正：
1】乙硅烷热分解生产多晶硅的化学反应应该是：Si2H6=2si+3H2，而不是Si2cL6=2si+3H2
2】Si2H6一次转化率在90-95%，而不是Si2cL6一次转化率在90-95%。3】由于尾气中含5-10%未分解的Si2H6和90-95%的氢气，再没有其他产物........。
   而不是由于尾气中只含5-10%未分解的Si2cL6和90-95%的氢气。


本帖是对«多晶硅生产新工艺、新设备的开发»错误之处进行更正，请大家指鉴！
                          作者本人于西安2016.11.28

m18291867780 发表于 2016-11-28 20:00
由于作者本人发稿时没有严格查阅，造成乙硅烷的分子式由Si2H6，误写为Si2cL6,今特在网上修改，并道歉。
希 ...

您能大概算一下，乙硅烷的成本多少？与现有的三氯氢硅法生产太阳能级多晶硅相比，最大的优势在哪了？

m18291867780 发表于 2016-11-28 20:00
由于作者本人发稿时没有严格查阅，造成乙硅烷的分子式由Si2H6，误写为Si2cL6,今特在网上修改，并道歉。
希 ...

对您的修改想问一下，您这个里面90—95%，这些百分比是重量比还是摩尔比？

     乙硅烷（Si2H6）在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300～500℃分解成为SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。

德国JPM 硅业有限责任公司是一家在硅冶炼和制备领域拥有独立技术的德国高新科技企业。我们利用所掌握的高效、节能、高性价比的工艺技术，为整个金属硅行业和太阳能级硅行业提供各个环节的技术支持：从硅原料测试生产到硅粉的回收再利用等等。