拉晶工段工艺要求

1）工艺卫生：
a. 装料之前要确定单晶炉至上而下炉体外无灰尘，至上而下炉壁擦干净；
b. 装料之前要确定所有石墨件清扫干净；
c. 领料之前要确定领料车清扫、擦拭干净，车上无灰尘、无其他东西；
d. 擦炉、领料、装料过程中操作人员必须要带一次性手套，严禁不带一次性手套去接触装料袋；
e. 装炉过程中，操作人员必须做好准备：穿好装料服、戴好帽子、口罩、手套；
f. 严禁用接触石墨件的手或手套去接触原料、装料袋、石英埚等；
g. 装炉完毕要注意清扫炉台四周卫生；
2）装料要求：
a. 装石英坩埚必须由当班班长确认才可安装，安装过程由当班班长或熟练操作工现场指导,确认；
b. 装料过程由当班班长或熟练操作工监控；
c. 装料过程中，硅料不要撞击石英坩埚；
d. 装料时杜绝将大块料装在最上面，以防塌料时溅硅或将埚底砸漏出现漏硅现象
e. 装料完毕，操作人员在工艺单和记录本上签字，由班长确认方可合炉；

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