硅烷气中的痕量金属元素杂质含量检测问题

tangnaimei · 发表于 2012-9-10 05:55:00

硅烷气中的痕量金属元素杂质含量检测问题

最近公司需要测定硅烷中的微量金属元素，感觉很棘手，硅烷遇空气即会着火，如果用水吸收硅烷中的金属杂质的话，必须用氮气将瓶子内的空气置换出来，这必然会引入杂质，而且硅烷不被水吸收，气体定量也很困难，再者往水中冲入硅烷，后期会生产SiO2，加HF溶解后，会形成基体效应。不知道大家有没有类似的方法，可以一起讨论一下啊？

匿名 *发表于 2012-9-10 16:11:00* · 发表于 2012-9-10 16:11:00

这有篇文献希望对你有帮助高纯气体中痕量金属元素的测定

匿名 *发表于 2012-9-10 16:18:00* · 发表于 2012-9-10 16:18:00

虽然这篇文章有点久但是还是有帮助的谢谢

匿名 *发表于 2012-9-10 17:51:00* · 发表于 2012-9-10 17:51:00

我也学习下哈哈多谢了

硅烷气中的痕量金属元素杂质含量检测问题

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