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硅烷气中的痕量金属元素杂质含量检测问题
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硅烷气中的痕量金属元素杂质含量检测问题
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tangnaimei
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[LV.5]常住居民I
tangnaimei
发表于 2012-9-10 05:55:00
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硅烷气中的痕量金属元素杂质含量检测问题
最近公司需要测定硅烷中的微量金属元素,感觉很棘手,硅烷遇空气即会着火,如果用水吸收硅烷中的金属杂质的话,必须用氮气将瓶子内的空气置换出来,这必然会引入杂质,而且硅烷不被水吸收,气体定量也很困难,再者往水中冲入硅烷,后期会生产SiO2,加HF溶解后,会形成基体效应。不知道大家有没有类似的方法,可以一起讨论一下啊?
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匿名
发表于 2012-9-10 16:11:00
这有篇文献 希望对你有帮助高纯气体中痕量金属元素的测定
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匿名
发表于 2012-9-10 16:18:00
虽然这篇文章有点久 但是还是有帮助的 谢谢
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匿名
发表于 2012-9-10 17:51:00
我也学习下 哈哈 多谢了
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