优点是:
1、整个系统闭路循环,排出物很少,物料利用率高;
2、歧化反应在塔式反应器内进行,反应温度低,生产成本低,能耗低(TCS→DCS80℃、DCS→MS50℃);
3、硅烷含硅量高(87.5%),易提纯,纯度可达到9~11N;
4、硅烷分解速度快,分解率高(98%),分解温度低(600~900 ℃),还原电耗低;
5、硅烷纯度最高,热解可以得到高达9~11N的多晶硅硅;
6、可以产出硅烷、四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅等多种硅源材料,并能随意搭配产品的比例。
缺点:
1、制备硅烷过程中每一步反应的目标产物转化率比较低(根据文献报道,SiCl4氢化22~28%、SiHCl3歧化:9.6%、 SiH2Cl2歧化:9.8% ),物料需要循环利用;
2、技术封锁信息较少,国内尚无工业化。
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