硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟

甘棠 · 发表于 2013-2-19 06:40:00

本文建立了硅烷和氢气体系中气体动量、热量和质量同时传递，并且耦合硅烷热分解反应的多晶硅气相沉积模型，选择适宜的物理模型和边界条件通过流体力学软件 Fluent 6． 3． 26 进行数值模拟。之后模拟了进气组成、反应温度、反应压力及进口速度等因素对沉积特性的影响，得到结论: 当进气组成、反应温度和反应压力增大时，硅的沉积速率增大、单位能耗降低; 当进气速度增大时，硅的沉积速率和单位能耗均呈增大趋势; 在进口区域硅沉积速率随着硅棒延伸增大，在离进口较远的区域，硅沉积速率随着硅棒延伸而减小。
下载后删除pdf后缀名观看。

匿名 *发表于 2013-2-19 15:50:00* · 发表于 2013-2-19 15:50:00

谢谢分享

匿名 *发表于 2013-2-19 18:13:00* · 发表于 2013-2-19 18:13:00

谢谢楼主，不知道新方法推广的怎么样，我们公司快投产了

匿名 *发表于 2013-2-19 19:05:00* · 发表于 2013-2-19 19:05:00

投产了好投产就有希望

xinmeng1504933 · 发表于 2015-3-23 16:42:38

不错，学习分享硅烷新技术原理

海阔天空1 · 发表于 2015-5-6 18:40:07

怎么看不到下载链接啊

山涧过客 · 发表于 2021-2-21 21:40:59

冬天来了，春天还会远吗

山涧过客 · 发表于 2021-2-21 21:46:04

好东西，**了

jake_kang · 发表于 2022-12-19 12:05:12

需要回复才能看到附件嘛？

jake_kang · 发表于 2022-12-19 12:05:36

看不到任何**连接啊

硅烷热分解生产多晶硅的三维模拟

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