从反应活化能垒角度探讨多晶硅还原机理

webmaster · 发表于 2013-1-28 06:29:00

三氯氢硅还原反应是改良西门子法生产多晶硅的主要过程，本文对三氯氢硅还原反应进行分子模拟，采用密度泛函理论方（DFT）研究了三氯氢硅还原成多晶硅的能量变化，对其分子结构进行优化，通过LST/QST 方法计算多晶硅还原过程中可能出现的过渡态及能量的变化，得到过渡态TSa、TSb、TSc。结果表明，三氯氢硅还原反应通道Path a 所得过渡态的活化能垒较低，过程进行较顺利。

匿名 *发表于 2013-3-3 07:57:00* · 发表于 2013-3-3 07:57:00

谢谢楼主分享

从反应活化能垒角度探讨多晶硅还原机理

让社区更精彩

帮助中心

热门版块

关于我们

关注我们

从反应活化能垒角度探讨 多晶硅还原机理

让社区更精彩

帮助中心

热门版块

关于我们

关注我们

从反应活化能垒角度探讨多晶硅还原机理