硅烷热分解法制取工业硅的影响因素分析

现阶段制备工业硅所用的改良西门子法存在能耗高和污染重的问题，因此寻求能耗低、环境友好型工业硅制备方法是必然趋势。通过硅烷分解试验对硅烷热分解法制备工业硅的几个影响因素做了分析，硅烷热分解的最佳条件是硅烷浓度0.25%，载气流量为200L/h,分解温度850度，沉积速率89.3%。

其实硅烷分解也不是想象中的那么简单，存在的问题和风险很多！

硅烷法主要是在安全防护上比较重要，危险系数太高，比DCS 更厉害。