反歧化装置所产生的后遗症

     虽说反歧化工艺从理论上来讲可以达到很高的转化率，但是循环一段时间之后必将会导致还原炉中的杂质增加。研究表明，在还原炉所排放出来的尾气中含有沸点与DCS非常接近的磷化合物杂质。经过反歧化后这个含磷的杂质又会转换成与TCS沸点相接近的另一种磷化合物，很难分离出去。这个杂质随着TCS气体进入还原炉后，有相当一部分量会在硅棒上沉积，从而影响多晶硅的品质。所以国外引进的反歧化工艺所提供的关键技术之一，就是解决了这类磷化合物的去除。

这类磷到底是什么样的磷呢?化学组成如果知道，也就好研究了

这个组分估计很复杂！