工艺技术处理多晶硅尾气分离方法

分离方法
1、  冷凝吸附法
     多晶硅尾气进入冷凝分离系统，增压后的合成气被降温，氯**和氯化氢被分离出来，然后通过精馏将氯化氢和氢气分离，氢气进入吸附精制系统，得到高纯度的精制氢气。
     冷凝分离系统由制冷压缩机组、精馏塔和泵组成，吸附精制系统由吸附塔、加热器和冷却器组成。
2、  变压吸附法
     变压吸附系统由吸附塔、换热器和缓冲罐和组成。任意时刻都有吸附塔处于吸附状态，其余处于再生状态。通过氢气、氯化氢、氯硅烷在吸附剂表面上吸附能力的差异，将氢气、三氯氢硅、氯化氢分离开。吸附剂通过升温和降压的方式得到再生。再生结束，吸附塔又重新具备处理三氯氢硅尾气并生产氢气的能力。
     经过这一系列过程后吸附塔便完成了一个完整的“吸附-再生”循环，又为下一次吸附做好了准备。各吸附塔交替进行吸附、再生，即可实现气体的连续分离与提纯。

冷凝和变压吸附是目前最为理想的方法