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三氯氢硅提纯系统的废气废液再回收
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三氯氢硅提纯系统的废气废液再回收
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甘棠
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[LV.1]初来乍到
甘棠
发表于 2013-4-11 06:12:00
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分析了目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的工艺;通过研究和借鉴,经过反复的实验分析、设计优化了氯硅烷精馏工
艺,简化了流程,在提高三氯氢硅产品质量的同时,对废气废液充分回收,达到节能减排、降低成本的目的。
华为网盘附件:
【华为网盘】 三氯氢硅提纯系统的废气废液再回收_蒯伟.pdf(181.34K)
http://dl.dbank.com/c01s1pp9hc
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