电子工业用气

目前很多多晶硅企业有进军电子级的打算，也有硅烷企业想生产电子级硅烷气。多晶硅的生产要用到氢气、氮气、氦气等，这些气的电子工业标准是什么？现在发一份，有用到的可以下载。