精馏湿氮除氯硅烷中硼磷杂质

1 湿淡除B P主要是利用氮气中的水分跟B P氯化物生成高沸点物质，也叫反应精馏，
2 由于三氯氢硅跟水也反应生成一种中间物质， 三氯氢硅跟水反应生成二氧化硅
3  1和2生成的中间物质脱水反应生成一种新物质
4   由于2中生成的二氧化硅是极细的未消粉末，又很强的吸附性，于是吸附第3步中生成的物质实质变成络合物，这种络合物是高沸点物质从而从塔釜排除，达到除B  P的效果) a. M, s) M6 U

BCl3+H2O=HOBCl2+HCl............(1)
HOBCl2+H2O=ClB(OH)2+HCl.....(2)
HOBCl2+BCl3=Cl2BOBCl2.......（3）
依次反应,氯化磷、三氯氢硅和水的反应也是如此
并且各中间产物之间，也会相互反应
由于三氯氢硅在系统中占绝大多数，因此，生成的硅胶量是最大的，硅胶的羟基可以与氯化磷和氯化硼反应，并且也可以吸附氯化磷和氯化硼。
最终实现了磷硼的脱除