TA的每日心情 | 开心
2023-8-15 15:26 |
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多晶硅只沉积在硅棒，而在还原炉的底部没有，沉积条件怎样，原理是什么，为什么下部较光滑而上部粗糙呢？
那是因为：上部由于横梁搭接处横梁和硅棒互相辐射导致温度较高，生长的快 只沉积在硅棒是因为硅棒是通电后发热，是得硅棒本身温度很高，从而达到反应温度而沉积在其表面；而其他部分如底盘未反应是因为其温度相对较底，而且还有冷却水进行冷却，所以不会在这些部位进行反应。 上部不光滑是因为热辐射较多，造成表面发热不均，从而沉积速度不一样。 |
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匿名
发表于 2012-12-14 11:22:00
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