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激光晶化多晶硅的制备与XRD谱
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激光晶化多晶硅的制备与XRD谱
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甘棠
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[LV.1]初来乍到
甘棠
发表于 2012-12-24 05:21:00
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对氢化非晶硅(a--Si:H)进行了脱氢和不同能量密度的准分子激光晶化多晶硅的实验,对所得样品用X射线衍射表征.针对多晶硅(111)面特征峰的强度、晶面间距和宽化信息,分析了激光功率密度对晶化多晶硅结晶度和应力的影响,根据谢乐公式(Scherrer)估算了晶粒的大小,得到用准分子激光晶化多晶硅的较佳工艺参数,并且验证了激光辐射对薄膜材料作用的3种情况.
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