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利用空气环境用冶金法级硅粒子生产半导体硅球产品
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利用空气环境用冶金法级硅粒子生产半导体硅球产品
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TA的每日心情
郁闷
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[LV.6]常住居民II
webmaster
发表于 2012-12-26 05:01:00
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一篇德国德克萨斯仪器的专利,涉及用冶金法级硅粒子生产单晶硅球的方法,该方法包括将冶金级硅粒子筛分到所需范围及在空气中将粒子外表面进行氧化从而形成氧化层表面层,然后粒子在空气中被加热,并使在表面层内的硅融化,从而使杂质移向表面层。
有兴趣的可以下载看看。
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