光纤四氯化硅工艺技术

光纤用高纯四氯化硅特性(SiCl4)在常温、常压下呈无色透明液体，具有极佳的流动性。目前，通常使用改良的西门子法技术生产，将三氯氢硅(SiHCl3)生产为多晶硅，生产中产生的副产物SiCl4经过二级精馏和全循环“充装管阀系统”提纯为光纤用的高纯SiCl4。
    氦气在光纤制造工艺中被广泛应用：在光纤预制棒沉积工艺中作为载气，在预制棒脱水烧积工艺中用氦气清除多孔体中的残留杂质(去氢)；在光纤高速拉丝工艺中作热转移气体等。由于氦气在自然界中是稀有气体，价格很高，最近几年来又上涨了两倍多，占制造光纤预制棒成本的25%以上。氦气和高纯SiCl4是预制棒成本的55%-60%。因此，想方设法通过氦气的回收，再生系统的处理，重新投入使用，这可大大提高氦气利用率，是降低预制棒成本。

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有具体的工艺吗？