多晶硅中杂质元素B、P的来源分析

B、P杂质的含量是多晶硅成品中比较关心的一个参数，那B、P是如何被引入的呢？发一篇文章，可以研究看看。

    能能源产业迅速发展，使之对多晶硅产品的质量要求越来越高，为了达到太阳能级多晶硅产品的要求，应把杂质元素B、P有效的脱除。本文以某厂多晶硅生产为例，分析该工艺路线各个环节脱除B、P的效果；以及采用矿热炉生产工业硅过程中B、P的来源和去向．结果表明工业硅生产过程中消耗的碳素材料是B、P的主要来源；选用低B、P的优质还原剂和经过处理的碳素电极，才能保证工业硅产品，满足后续多晶硅提纯工艺的要求．

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