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SiHCl3挥发器与氢气控制

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    2023-2-1 11:52
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    [LV.1]初来乍到

    甘棠 发表于 2012-12-31 06:32:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    多晶硅生产中,挥发器的调节也很重要,简单介绍一下挥发器的工艺技术,学习一下!
    匿名  发表于 2012-12-31 19:09:00
    汽化工艺稳定与否,决定着多晶硅的质量稳定的因素之一

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