TA的每日心情 | 郁闷 2024-4-26 11:31 |
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签到天数: 115 天 [LV.6]常住居民II
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针对多晶硅厂还原炉内出现的土黄色粉末的成分进行了分析,对其生成原因和对多晶硅生产的影响进行了探讨。分析结果显示.该土黄色粉末的化学成分是单质si,其形成机理是还原炉炉底温度过高引起的形成无定形si的副反应。还原炉炉底温度过低,副反应产物较少;炉底温度过高,副反应产物较多。同时,对尾气组成的分析表明,当炉底温度较低时,尾气中反应物SiHCl3的含量较高。而反应副产物SiCI。的含量较低。控制较低的炉底温度有利于减少副反应的发生,从而达到降低物耗的目的。 |
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