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西门子法生产多晶硅还原炉内副产物的研究

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  • TA的每日心情
    郁闷
    2024-4-26 11:31
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    [LV.6]常住居民II

    webmaster 发表于 2012-12-31 12:09:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    针对多晶硅厂还原炉内出现的土黄色粉末的成分进行了分析,对其生成原因和对多晶硅生产的影响进行了探讨。分析结果显示.该土黄色粉末的化学成分是单质si,其形成机理是还原炉炉底温度过高引起的形成无定形si的副反应。还原炉炉底温度过低,副反应产物较少;炉底温度过高,副反应产物较多。同时,对尾气组成的分析表明,当炉底温度较低时,尾气中反应物SiHCl3的含量较高。而反应副产物SiCI。的含量较低。控制较低的炉底温度有利于减少副反应的发生,从而达到降低物耗的目的。
    匿名  发表于 2013-1-2 11:18:00
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