依据工业级、试剂级四氯化硅标准,参考文献提供光纤级四氯化硅标准以及国内光纤制造企业所提供光纤级四氯化硅质量要求,确定光纤级四氯化硅质量标准。
杂质
金属 | 最大值 | 指标 | Cr | max. | 1ppb | Fe | max. | 5ppb | Co | max. | 1ppb | Cu | max. | 1ppb | Mn | max. | 0.5ppb | Ni | max. | 2ppb | V | max. | 2ppb | SiHCl3 | max. | 5ppm |
2k红外光谱测量在10cm样品池中进行红外光谱结果应为:
波数 | 透光率(%) | 不纯物 | 3666 | >90 | SiOH | 3100-3020 | >99 | 芳香醛CH | 2970-2925 | >95 | 脂肪醛CH | 2860-2830 | >95 | HCl | 2338 | >95 | CO2 | 2295 | >97 | SiNC0 | 2257 | >99 | SiH | 2023 | >99 | SiCH3 | 1540 | >99 | Si20Cl6 |
NMR一谱:250MHZ-H谱(含氢有机物)
四氯化硅系列产品
级别 | 含量(%) | 工业 | >=98.5 | 试剂二级 | >=99 | 4N | >=99.99 | 6N | >=99.9999 | 9N | >=99.9999999 | 10N | >=99.99999999 |
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