等离子体技术在多晶硅还原炉的应用

在等离子体发生器对还原炉内部进行加热的条件下，对炉内温度进行试验测试，同时采用FLUENT软件对其进行了数值模拟。理论和计算结果表明，等离子体加热技术在多晶硅还原炉中有着良好的加热效果。与同类型加热设备卤素灯相比，等离子体发生器不仅加热效率高而且运行成本低。
    现在不知道又多少还原炉用的是这种加热技术，发一个文献，大家可以了解一下