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一种提高多晶硅还原炉产量的还原炉油夹套
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一种提高多晶硅还原炉产量的还原炉油夹套
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tangnaimei
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[LV.5]常住居民I
tangnaimei
发表于 2012-11-7 08:29:00
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目前在多晶硅生产中,还原炉筒降温方式有两种,一种是使用导热油降温,另一种使用高温水降温,导热油降温在降温过程中,由于下进上出的结构,为直筒式的,这种换热方式容易造成气体的分布不均和局部堆积,而且到多晶硅生产后期,还原炉内的多余热量难以完全带走,容易造成硅棒表面温度的不均匀,势必引起多晶的致密度不均和菜花料产生,引起多晶硅质量和产量的下降。
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