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36对棒还原炉相关数据,看看大家的是不是这样?

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  • TA的每日心情
    郁闷
    6 天前
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    [LV.6]常住居民II

    webmaster 发表于 2012-11-7 04:41:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    有关36对棒还原炉的数据,开过这个炉子的同仁可以讨论一下的

    1、炉筒内径:2.9米 炉筒外径:3.2米 最大外径:3.7米
    2、炉筒重量:20吨 总重量:35吨 运行重量:45吨
    3、硅棒高度:2.3米 硅棒棒径:120~145毫米
    4、生产运行时间:85~105小时
    5、单炉产量:5~6.2吨
    6、平均电耗:45~50千瓦时/公斤
    7、沉积速度:55~60公斤/小时 径向沉积速度:1.5毫米/小时
    8、三氯氢硅进料:600~3300公斤/小时
    匿名  发表于 2012-11-7 16:04:00
    不错,总结的挺详细
    匿名  发表于 2012-11-8 11:11:00
    电耗没那么低吧,而且沉积速率有那么快么?

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