TA的每日心情 | 郁闷 6 天前 |
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签到天数: 115 天 [LV.6]常住居民II
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有关36对棒还原炉的数据,开过这个炉子的同仁可以讨论一下的
1、炉筒内径:2.9米 炉筒外径:3.2米 最大外径:3.7米
2、炉筒重量:20吨 总重量:35吨 运行重量:45吨
3、硅棒高度:2.3米 硅棒棒径:120~145毫米
4、生产运行时间:85~105小时
5、单炉产量:5~6.2吨
6、平均电耗:45~50千瓦时/公斤
7、沉积速度:55~60公斤/小时 径向沉积速度:1.5毫米/小时
8、三氯氢硅进料:600~3300公斤/小时 |
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