硅烷法制备电子级多晶硅产业化研究

硅烷法制备多晶硅较国内主流的三氯氢硅法具有以下优点：
a. 耗电低。硅烷的分解温度为800℃，比三氯氢硅低300℃左右，所以用电仅为三氯氢硅法的1/2左右。
b.硅烷容易分解，材料利用率高。硅烷法还原炉分解率为85%以上，硅烷法还原炉未反应物料循环量小于三氯氢硅法。材料利用率高。
c.环境友好。硅烷法的生产原料对设备腐蚀小，不含氯化物，生产过程不副产氯化氢，对环境影响小。
d.热解炉尾气容易处理。主要是氢气和少量未反应硅烷，分离出的氢气经过过滤，回收再利用。与传统工艺相比具有明显的环保优势。
e.硅烷容易提纯，是电子级多晶硅的理想原料。
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