TA的每日心情 | 无聊 2023-2-1 11:52 |
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签到天数: 2 天 [LV.1]初来乍到
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简单普及贴,介绍一些多晶硅生产中的很基本的一些名词概念,适合入行的同仁了解。
1. 半导体:
介于导体和绝缘体之间的物质叫半导体。
2. 电阻率:
是指一根长度和截面积都是一个单位的导体的电阻就叫电阻率。
特性:
1) 半导体的电阻率对温度的反应特别敏感;
2) 微量的杂质能显著的改变半导体的电阻率;
3) 适当的光照可使半导体的电阻率显著改变。
3. N、P型半导体
N型半导体:
我们把主要依靠电子导电的半导体叫着电子型或N型半导体(施主杂质)。
P型半导体:
我们把主要依靠空穴导电的半导体叫着空穴型或P型半导体(受主杂质)。
4. 寿命:
就是非平衡载流子载半导体中存在的时间。
5. 基磷:
是指在多晶硅中所含杂质磷的真是浓度。
基硼:
是指在多晶硅中所含杂质硼的真是浓度。
6. 实收率:
实际炉产量于所用三氯氢硅料中含硅量之比。
沉积速度:
是指在还原反应中单位时间内,沉积硅的重量。
沉积速率:
是指在还原反应中单位时间内、单位载体长度上沉积硅。
沉积速率=炉产量/总沉积时间×载体总长度
单位:(克/小时.厘米、千克/小时.厘米)
配比:
是指还原过程中氢气和三氯氢硅的用量之比(克分子子比)。
7. 氧化夹层:
在还原过程中,当原料混合气中混有水汽或氧时,则会发生水解及氧化,生成一层二氧化硅附着在硅棒上。在这种被氧化的硅棒上有继续沉积硅时,就形成了氧化夹层。
8. 硅油:
硅油时一种大分之量的高分之硅卤化物(SiCL2)n.H2n,其中含硅25﹪,呈油状的物质,这种油状物质在还原过程中低温处产生的(低于300℃),往往沉积在炉壁、底盘、喷口、电极及观察口石英片等冷壁处。 |
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