多晶硅之制氢及纯化操作

目前制氢有电解食盐水、甲醇裂解制氢等。氢气的质量好坏对多晶硅成品的影响也很大。制氢的操作如下：
   制氢及纯化操作指导书

一. 制氢操作步骤

若制氢设备长时间停机(三天以上),开车前压力高于0.2MPA,可以不用N2置换,低于0.2MPA必须用0.3MPA-0.5MPA的N2置换系统三次,最后一次可以不需泄放.调整好氢氧两恻液位,保持压力0.2MPA以上.短时间停车(三天以内)可以不用N2置换,但必须保持正压.确定制氢设备上各阀门的开闭状态,开启碱液循环泵,流量在5.0-6.3M3/H左右.检查冷却水及冷却水系统,制氢框架冷却水压力在0.2-0.3MPA之间,整流柜冷却水压力在0.15-0.2MPA之间.冷却水系统按正常情况开机运行,注意进出口阀门的开度.检查电气系统,确定变压器及动力系统已送电,在动力柜上将对应的整流柜电源送上,随后将整流柜处于外控,稳流状态,观察控制柜内的总气源及各分表的压力,保证总气源的压力在0.5-0.75MPA之间,分表压力在0.15左右,把需要开启的补水泵进出口阀门打开,工控机画面上补水泵处于自动状态.在操作画面上点击电解运行,随后进行压力和电流设定,第一次压力设定在1.0MPA,电流在2000A,参数设定后立即打开制氢框架上两侧保压阀,待电流和压力达到设定值后,进行第二次设定,将压力设定在1.5MPA,电流设定到所需要的数值,当压力和电流及碱液温度达到设定值后,把制氢框架上氢氧两侧取样阀打开,并调整流量在300-400ML/MIN之间.15分钟后给两检测仪表送电,在气体纯度合格后开始进行充罐.

二. 制氢停机步骤

电击系统停机画面,待停机铃声响起后,立即关闭制氢框架氢氧两侧保压阀及取样阀.将碱液流量调到8.5M3/H.当碱液温度下降到42℃,碱液循环泵自动停止运行,若此时其它用到冷却水的设备都停机,需关闭冷冻水机.若制氢设备长时间停机(三天以上),首先用0.3MPA-0.5MPA的N2置换系统三次,最后一次可以不需泄放.(调整好液位后保持0.3MPA-0.5MPA的N2压力)

三. 纯化开机步骤

1. N2置换

2. 检查冷冻水及纯化框架上各阀门的开闭状态.

3. 安全水封加满水,水封上面的排空阀门关闭,自动排水上面的截止阀关闭.

4. 系统处于去车间状态.

5. 将需要开启的储氢罐出口阀门打开,并调整好适当的气体流量.

6. 在纯化操作画面上点击启动安钮.

7. 将再生流量调到20M3/H,把安全水封上面的排空阀打开,自动排水上面的止阀打开.

8. 系统运行正常后打开取样阀,并调整好所需的流量,30分钟后送电,仪表投入运行.

9. 在检测的气体纯度及露点合格后便可送入车间使用.

10. 根据各车间使用情况在减压装置上调整适当的压力.

四. 纯化停机步骤

接到停车指令后,在系统加热完成后方可按以下步骤正常停机.

1. 关闭露点仪及微氧仪的电源,将露点仪由”测量”转为”旁路”状态,关闭针形取样阀.

2. 将纯化置于”放空”状态,安全水封上的排空阀关闭.纯化进口阀一直开启,随后在动力柜上把脱氧塔3个干燥塔的电源关掉.保证此时纯化设备内一直有氢气流动,使其干燥塔进入吹冷阶段,当温度降到100℃时,将纯化置于”去车间”状态.安全水封的排空阀打开,相应的储氢罐出口阀门关闭,纯化入口阀门关闭,若此时制氢设备开机,请注意储罐压力,随时做好调整,当一切检查完毕后,在纯化画面上电击停止”按钮”.

3. 当纯化干燥及脱氧温度降到常温后,若确定长时间{三天以上}停机,需用0.3-0.5Mpa的N2置换三次,最后一次的压力可以不需要泄放,保持0.5Mpa左右.

五. 设备操作注意事项

1. N2置换前必须关闭碱液循环泵.

2. 纯化放空前需将安全水封上的排空阀关闭.

3. 在进行阀门切换前应确定准确无误后再进行操作.

4. 制氢设备的氢氧两侧排污阀必须由专人定时排放{一般1-2小时排放一次}.

介绍的蛮好的很是感谢

能用的到才是好东西哦