铸造多晶硅的缺陷

浙江大学硅材料重点实验室教授的一个PPT课件，主要讲间隙氧、替位碳、过渡金属杂质、缺陷、位错等对硅晶体质量的影响。课件有很多很好的图片，可以下来研究研究。