改进型三氯氢硅合成工艺初探

tangnaimei · 发表于 2012-12-10 06:54:00

传统三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应。此法约有15～20%的副产物四氯化硅产生，存在着原料消耗高，产品成本高。介绍一种三氯氢硅和合成的新工艺，应用化学平衡的原理，适当加入部分四氯化硅，可抑制四氯化硅的生成，同时能够吸收氯化氢中的微量水分。
详细过程可下载以下资料。

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匿名 *发表于 2012-12-10 15:32:00* · 发表于 2012-12-10 15:32:00

副产物早已降到10%以内了。

匿名 *发表于 2012-12-10 15:44:00* · 发表于 2012-12-10 15:44:00

主要不做三氯氢硅合成这一块，资料可能有点老，不过能在10%以内，真的不错

改进型三氯氢硅合成工艺初探

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