硅烷是如何提纯的？

国内用硅烷法生产多晶硅的企业很少，而从能耗上来说硅烷的成本确实要低一些。使用流化床生产硅烷，电耗在20~30度之间，这比改良西门子法最低的电耗还要低很多。从中能也在积极开发硅烷法来看，或许这种方法大有与改良西门子法竞争之势。
    硅烷的生产在此不作赘述，先和大家分享一下硅烷的提纯。
    硅烷在常温下为气态，一般来说气体提纯比液体和固体容易。因为硅烷的生成温度低，大部分金属杂货在这样低的温度下不易形成挥发性的氢化物，而即便能生成，也因其沸点较高难以随硅烷挥发出来，所以硅烷在生成过程中就已经经过一次冷化，有效地除去了那些不生成挥发性氢化物的杂质。
   硅烷是在液氨中进行的，在低温下乙硼烷（B2H6）与液氨生成难以挥发的络合物（B2H6•2NH3）而被除去，因而生成的硅烷不合硼杂质，这硅烷法的优点之一。但硅烷中还有氨、氢及微量磷化氢（PH3）、硫化氢（H2S）、砷化氢（AsH3）、锑化氢（SbH3）、甲烷