硅烷分解生产多晶硅的优点

甘棠 · 发表于 2012-10-23 06:47:00

目前国内使用硅烷生产多晶都还是使用硅烷在CVD炉里分解制的，目前中能在研究流化床生产的方法。在此总结几点硅烷分解的优点，懂得人可以赐教！
将硅烷气体导入硅烷分解炉，在800~900℃的发热硅芯上，硅烷分解并沉积出高纯多晶硅，其反应式如下：SiH4=Si+ 2H2 ↑

硅烷热分解法有如下优点：
① 分解过程不加还原剂，因而不存在还原剂的玷污。. k6 @$ V( j+ L% I
② 硅烷纯度高。在硅烷合成过程中，就已有效地去除金属杂质。尤其可贵的是因为氨对硼氢化合物有强烈的络合作用，能除去硅中最难以分离的有害杂质硼。然后还能用对磷烷、砷烷、硫化氢、硼烷等杂质有很高吸附能力的分子筛提纯硅烷，从而获得高纯度的产品，这硅烷法的又一个突出的优点。
③ 硅烷分解温度一般为800~900℃，远低于其它方法，因此由高温挥发或扩散引入的杂质就少。同时，硅烷的分解产物都没有腐蚀性，从而避免了对设备的腐蚀以及硅受腐蚀而被玷污的现象。而四氯化硅或三氯氢硅氢气还原法都会产生强腐蚀性的氯化氢气体。
因硅烷气是易燃易爆的气体，所以整个吸附系统以及分解室都要有高度严密性，必须隔绝空气。贮藏和运输硅烷常采用两种方法：一种是用分子筛吸附硅烷，使用时可用氖气携带；另一种是把硅烷压入钢瓶，再以氢气稀释，使其浓度降低5%以下，从而避免硅烷燃烧的危险。

匿名 *发表于 2012-10-23 15:44:00* · 发表于 2012-10-23 15:44:00

硅烷法看来是不错呀，但是成本还是不低呀

匿名 *发表于 2012-10-23 15:57:00* · 发表于 2012-10-23 15:57:00

国内的确实还没能做到很低

匿名 *发表于 2012-10-23 19:14:00* · 发表于 2012-10-23 19:14:00

危险性不小，安全性也不容忽视。

匿名 *发表于 2012-10-23 20:00:00* · 发表于 2012-10-23 20:00:00

其实还好啊！危险一般都是人为引起的

硅烷分解生产多晶硅的优点

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