新型多晶硅还原炉清洗装置介绍

“硅讯网：”多晶硅还原炉的洁净度也非常重要，影响产品质量和热辐射能力，因此要保证炉筒内壁光洁至关重要，但是由于多晶硅生产中，对还原炉内温度控制的差异性，导致无定形硅附着在炉内表面，导致能耗上升或质量下降，因此介绍一个新型的多晶硅还原炉的清洗装置大家学习。