多晶硅还原炉倒棒的主要原因分析

tangnaimei · 发表于 2012-9-9 15:52:00

“硅讯网：”还原炉在运行中经常会出现倒棒现象，对于该情况，同大家分享一个关于多晶硅还原炉倒棒的文献，供大家参考！

匿名 *发表于 2012-9-12 11:48:00* · 发表于 2012-9-12 11:48:00

是不是因为开始通氢气时气量太大的原因

匿名 *发表于 2012-9-12 12:26:00* · 发表于 2012-9-12 12:26:00

前期通氢只是为了增加空烧时间，提高硅棒表面温度，时硅棒表面达到正常反应温度，同时降低硅芯根部亮点，避免升温过程中倒炉。一般通氢气出现倒炉的概率比较低，另一种原因是由于硅芯在搭接过程中垂直度不够，歪曲导致的。