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多晶硅还原供料曲线分析
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多晶硅还原供料曲线分析
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webmaster
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TA的每日心情
郁闷
2024-4-26 11:31
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[LV.6]常住居民II
webmaster
发表于 2012-9-16 14:20:00
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“硅讯网:”多晶硅生产中通过不断的调节前期、中期、后期的混合气配比(Q)来改变还原炉内的反应情况,从而可以降低珊瑚,菜花料的比例,节约还原电耗,对提高一次还原率有很大意义,Q代表的意思是氢气与三氯氢硅的摩尔比。Q=X2+aX+b或者Q= aX+b(X≤t)、Q= aX+b(X>t)。
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发表于 2012-9-16 22:23:00
有点迷糊,看得不是很懂
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匿名
发表于 2012-9-17 13:33:00
就是在不同时间段内,调成混合气的配比,因为在硅棒生长前后期中炉内温度变化较为明显。
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