TA的每日心情 | 郁闷
2024-4-26 11:31 |
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”硅讯网：”雾化出现一般是在生长后期,通料量加大，电流控制不匹配，导致炉内温度低于1000度造成的，处理办法：减少反应料量提高炉内温度；通过侧路氢气对炉内补氢，降低混合气浓度。
本人认为主要是随着硅棒不断的长大，炉内反应空间减少，混合料量增加 ，反应不完全的三氯氢硅自身分解放热生成无定形硅，加速了炉内反应，棒径继续变大，空间减少，炉温继续降低，而尾气温度不断升高，导致在还原尾气出气管内结晶堵塞管道，一般雾化后炉筒水回水温度和还原尾气夹套水温度都会被炉内无定形硅包围因而降低。 |
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匿名
发表于 2012-9-17 16:23:00
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