多晶硅生产中倒棒的情况时有发生,倒棒不仅使湖给还原炉地盘造成损失,也会影响产品质量,给后续整理包装也带来一些麻烦。以下是我搜集的各种人认为的各种原因,大家可以看看。
观点一:启动时高压产生的磁场不平衡,加上进料的速度和阀门的流量曲线与硅棒的震动不能互消。炉内的磁场主要由炉子决定,也就是由厂家的生产设备的技术研究水平决定的。造成倒伏的很关键的因素是进入还原炉的三氯氢硅或者硅烷气体分布不均造成的,归根结底是在于还原炉的结构问题,进气分布不均匀,造成硅棒的生长速度不均匀,上下硅棒粗细不一致,从而造成倒伏问题。
观点二:倒棒原因很多 1、前期倒棒很多是因为石墨卡瓣质量不过关、硅芯装的不直、电流加的太快熔断、横梁搭接不好
2、运行中倒棒很多时候是与工艺和还原炉设计有关,如运行过程中温度控制不好,混合气进料控制不好,还有就是炉筒水温 控制不好导致硅棒外圈偏向里面生长而导致重心偏移
3、硅棒太长也容易倒棒,国内一般都不超过2.5m
硅芯的粗细有要求,不能特别粗,否则难击穿,也不能太细,否则易断裂倒伏;硅芯的安装需要一定的技巧,一定要特别小心,因为硅芯很脆,易断裂;另外,对击穿电压也有严格的要求,而且电压要稳定。
观点三:多晶硅的倒炉主要分两个阶段 一个该开炉的时候或开炉后不久,造成的主要原因主要是安装硅芯的细节控制问题,方面比较多,可以自己摸索比较简单不多说;还有就是打压电流过高造成的熔断,多注意检查夹瓣和硅芯的接触情况还有横梁的接触情况,多注意问题不打;
还有一个就是反应到了中后期由于玉米花过深造成局部电流密度多大造成的倒炉,这比较可怕,后果很严重,对设备和电气 都有很大的破坏性,可以从前期的多晶硅生长控制抓起,避免形成爆米花,至于细节操作,我也在摸索中;
如果是在停炉过程中造成的倒炉就怨不得别人了,自己的控制不好,停炉过程需要进一步调整了
观点四:
1,还原炉设计上的问题,这个是被定死了的 2,硅芯的长度和直径,以及硅芯的电阻,当然越长的硅芯肯定越容易倒
3,高压启动时候的电流,以及时间是否过长
4,启炉时,还原炉和硅芯互相作用产生磁场使硅芯摆动
5,启炉时是用氢气启,还是氮气启动,用氮气很容易启成功,用氢气很容易倒硅芯
6,生长阶段硅棒生长不好,关键部位如根部和横梁没有长好的话,也很容易倒
7,长时间的空烧,以及突然停电造成硅棒裂开等等
还有很多能影响的,这几个是主要的因素
希望对大家有帮助 |