还原炉内反应有大量硅粉是怎么回事

还原炉在反应过程中，到中后期炉内会有大量硅粉生成，导致视镜模糊，停炉打开后，底盘上也有很多硅粉，是怎么回事？当时我们分析是炉内温度太高导致多晶硅在气相中沉积了，但是从视镜看炉内温度不是很高。适当降低电流控制温度低点，硅粉还是在产生，只是量多量少的问题。