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多晶硅还原炉电气系统工作原理

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  • TA的每日心情
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    2024-4-26 11:31
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    [LV.6]常住居民II

    webmaster 发表于 2012-9-21 09:01:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
    “硅讯网:”多晶硅还原炉电气系统的主要设备是大功率调压器。调压器所带负载是多晶硅棒串联而成的纯电阻负载。调压器的作用实际上是对负载电阻进行电加热,并且保持硅棒表面温度恒定(一般1080℃)。
              硅棒串联而成的电阻是一个变化的电阻:
               第一,硅棒温度从常温上升到1000℃,Φ8直径硅芯电阻从几百kΩ下降到几十Ω;
               第二,保持硅棒表面温度1080℃,硅棒直径从Φ8增加到Φ150,硅棒电阻从几十Ω下降到几十mΩ。可见硅棒电阻大范围变动引起调压器输出电压和电流的调节范围大是这种调压器的设计特点。按照实际工作的性质,调压器分为硅棒温度从常温加热到1000℃的预热调压器和硅棒直径从Φ8增加到最终直径并且始终保持硅棒表面温度1080℃的还原调压器。
    匿名  发表于 2012-9-21 18:55:00
    很受启发,学习了
    匿名  发表于 2012-9-22 23:30:00
    还原电器和还原炉匹配上也很重要,所以在生产设计之前在电器上应该重视。

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