TA的每日心情 | 无聊 2025-1-24 14:35 |
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硅烷较三氯氢硅更加活泼,遇空气能够自燃。所以硅烷法生产多晶硅的危险性更大,这也是国内很少采用该工艺的原因之一。但在理论上硅烷法的成本要比改良西门子法更低,所以目前有不少企业在积极开发该工艺路线。
发一篇硅烷相关文章,介绍硅烷法制多晶硅的生产工艺及生产过程,分析生产过程中的主要危险品的理化性质。从厂区布局、电气设备、报警系统、灭火系统等方面提出硅烷法制多晶硅生产过程中应注意的消防安全技术措施。
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