电阻率对多晶硅产品质量的影响

电阻率是多晶硅产品质量检验最主要的指标之一，其数值高低可以反映出由其生产的硅片的转化率的大小。在多晶硅生产中，电阻率的高低可以反映出多晶硅产品中金属杂质含量的多少，因此，其也是多晶硅生产中过程控制的主要参考数据。一般而言，金属杂质含量越高，则多晶硅的电阻率越低，金属杂质越低，则对应多晶硅的电阻率越高。当然，多晶硅的少子寿命也相同于此。    由此可以看出，金属杂质含量是影响多晶硅电阻率的主要因素之一。在多晶硅生产中，金属杂质主要来源于进入还原炉中的精制三氯氢硅原料，因此精制三氯氢硅中的金属杂质含量决定着多晶硅的电阻率。在一般的多晶硅生产中，三氯氢硅的来源一般有四种途径，即合成生产，氢化生产，还原自循环及外购料。
    在这四种途径中，合成生产的三氯氢硅对多晶硅产品质量影响最大，这是因为合成生产使用的原料就是工业硅粉和氯气、氢气，而金属杂质主要来源于工业硅粉。因此，对于合成生产的三氯氢硅的工艺处理除自身的洗涤塔洗涤和精馏外，还要注重于工业硅粉的质量，使用高质量的硅粉作为生产原料，即尽可能的在源头进行控制。当然，在实际生产中，精馏是质量控制过程中最主要的一个工序，其运行的好坏及控制水平的高低决定着多晶硅产品质量的好坏。但是，从目前实际情况来看，国内绝大多数企业并未迈过这个门槛。
    除了金属杂质对多晶硅产品的电阻率有影响外，系统物料进水也是非常大的一个影响。生产实践证明，只要系统物料进水，多晶硅产品的电阻率就会下降。
    在生产过程中，如果发现电阻率下降，企业需要迅速做出反应，查找问题的原因所在，尽可能的不要等待拖延时间，否则，造成生产系统污染的话，那将是一个非常头疼的事情。