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反歧化装置所产生的后遗症
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反歧化装置所产生的后遗症
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tangnaimei
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开心
2023-8-15 15:26
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[LV.5]常住居民I
tangnaimei
发表于 2013-3-28 03:17:00
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虽说反歧化工艺从理论上来讲可以达到很高的转化率,但是循环一段时间之后必将会导致还原炉中的杂质增加。研究表明,在还原炉所排放出来的尾气中含有沸点与DCS非常接近的磷化合物杂质。经过反歧化后这个含磷的杂质又会转换成与TCS沸点相接近的另一种磷化合物,很难分离出去。这个杂质随着TCS气体进入还原炉后,有相当一部分量会在硅棒上沉积,从而影响多晶硅的品质。所以国外引进的反歧化工艺所提供的关键技术之一,就是解决了这类磷化合物的去除。
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发表于 2013-3-29 10:17:00
这类磷到底是什么样的磷呢?化学组成如果知道,也就好研究了
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匿名
发表于 2013-3-29 14:16:00
这个组分估计很复杂!
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