影响多晶硅还原产量的几个因素

具体说来，在还原生产过程中，还原产量与设备结构，硅芯表面积，沉积时间，尾气回收情况，以及种种反应条件密切相关。简要归纳如下：

A、硅芯表面积越大，沉积速率越快；

B、还原时间越长，单炉产量越大；

C、反应混合气体在还原炉内循环情况与停留时间直接影响到沉积速率和实收率。使混合气高速喷入还原炉，在炉体内充分循环，不断的消除载体表面气体层，并在炉内构成一定正压，将有助于提高沉积速率；

D、适当的升高硅棒表面温度有助于抑制副反应和硅的逆腐蚀反应，使硅的沉积量和实收率增大。但是温度升得过高，随着温度升高，沉积速率和实收率反而下降，当温度超过1200℃时，则发生硅的逆腐蚀反应和副反应，因而影响产品质量和产量；

E、适当的增大进料量，有助与提高沉积速率，但要考虑氢气与原料的配比问题；

F、适当的增大混合气流量有助于提高沉积速率；

G、适当的提高进料温度有助于提高硅的实收率。