三氯氢硅提纯系统的废气废液再回收

分析了目前多晶硅生产中氯硅烷精馏的工艺；通过研究和借鉴，经过反复的实验分析、设计优化了氯硅烷精馏工
艺，简化了流程，在提高三氯氢硅产品质量的同时，对废气废液充分回收，达到节能减排、降低成本的目的。

华为网盘附件：
【华为网盘】 三氯氢硅提纯系统的废气废液再回收_蒯伟.pdf(181.34K)
http://dl.dbank.com/c01s1pp9hc