三氯氢硅中硼等其他杂质怎么去除？

C2008L · 发表于 2010-3-8 13:14:32

本帖最后由 C2008L 于 2010-6-29 11:49 编辑

三氯氢硅经过精馏后硼、磷等杂质的的含量在100--200ppb左右，怎么去除这些杂质到15ppb附近才能满足多晶硅厂家的要求啊？

jzq0922 · 发表于 2010-3-8 15:57:46

这个是搞多晶硅生产的企业都希望做好的工作，但如果你能够找到好的交流点，会引起相关人员关注的。所以希望思路上你可以先抛一下砖。

fangxf · 发表于 2010-4-15 09:14:53

三氯氢硅经过精馏后硼等杂质的的含量在100ppm左右？这也太高了吧!目前国内的要求应该是低于100ppb

tt777_1028 · 发表于 2010-4-16 13:16:03

100ppb也不低啊