我国多晶硅生产集成工艺技术又获新突破

近日科技部和中国电子材料行业协会在洛阳中硅高科组织召开验收评审会。中硅高科承担的国家“十一五”科技支撑计划课题大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究、高效加压还原炉系统研究、大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究三个课题和参与完成的多晶硅标准、专利体系建设与研究课题顺利通过验收评审。专家认为，这四项科技成果成功解决了规模化多晶硅生产中的瓶颈问题，填补国内空白，标志着我国多晶硅生产集成工艺技术又获新突破。