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三氯氢硅合成生产工艺的优化
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三氯氢硅合成生产工艺的优化
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jzlh
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jzlh
发表于 2010-2-22 14:59:41
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三氯氢硅合成生产工艺的优化
三氯氢硅合成收率的主要影响因素是:合成炉的温度、压力,冷却水的温度和压力,硅粉的加入量等
控制主要技术条件:
上,中,下温度:280~320
炉顶压力:100~140mmHg
压差:110~170mmHg
分布板压:19~21乇(分布板上的阻上差约等于)
HCL压力:300~400
除尘器温度:150左右
硅粉粒度:80~120目
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zjhg
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zjhg
发表于 2010-2-22 19:17:22
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学习了谢谢
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wcy025
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TA的每日心情
怒
2020-12-7 17:07
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[LV.1]初来乍到
wcy025
发表于 2010-4-23 12:50:36
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都什么年代的资料了,还拿出来。搞点实际的东西撒。
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gysml
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gysml
发表于 2010-11-18 15:25:57
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先学习学习一下
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jyt1978
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jyt1978
发表于 2010-12-6 09:31:07
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都什么年代的资料了,还拿出来。搞点实际的东西撒。
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limingshuguang
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limingshuguang
发表于 2011-8-5 09:34:51
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温度有个梯度吗?应该多少合适?
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