国内改良西门子法（三氯氢硅氢还原法）主要设备清单

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序号        设备名称
1         电压调控系统（ Voltage Sequence systems）         Control         (VSC)
2         油浸整流变压器（ oil immersed transformer ）         commutation
3         氢化沉积反应器（多晶硅还原炉） （reactorsets stainless steel）
4         尾气回收系统（CDI） （The recovery system ）
5         氢气压缩机（Reciprocating Compressor ）
           冷冻机               
6        （ compound         R-22         refrigeration systems ）                 
7         DCS 控制系统（DCS Control systems ）
8         泵（Bump ）
9         阀门（Valve ）
10       氯氢化反应系统（HYDROCHLORINATION SYSTEMS）
11       三氯氢硅精馏塔
12       水电解制氢装置
13       尾气洗涤塔

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多晶硅的工艺设备吗？

具体的工艺你有吗？？

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都有哪些厂家可以推荐

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